ТРАНСПОРТНО — ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС

КЛАСТЕР ТМ 200

        НАЗНАЧЕНИЕ

          Реализация технологий уровня 180 — 20 нм.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

Роботизированная вакуумно-транспортная система Кластер ТМ 200. Система предназначена
для высокопроизводительного автоматизированного перемещения пластин диаметром 150 и
200 мм между процессными модулями для загрузки/выгрузки пластин из кассет или СМИФ-
контейнеров. Система оснащается автоматическими роботизированными вакуумным
и атмосферным манипуляторами.

К вакуумно-транспортной системе могут пристыковываться любые из восьми технологических (процессных) модулей установок, такие как :
Магна ТМ 200-01, Магна ТМ 200-04, Плазма ТМ 200-01, Плазма ТМ 200-02, Плазма ТМ 200-03, Плазма ТМ 200-04, Изофаз ТМ 200-01, Изофаз ТМ 200-02, БТО ТМ 200-01.

  скачать pdf