+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

КЛАСТЕР ТМ 200

 кластер1

ТРАНСПОРТНО — ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС

КЛАСТЕР ТМ 200

        НАЗНАЧЕНИЕ

          Реализация технологий уровня 180 — 20 нм.

кластер2

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

Роботизированная вакуумно-транспортная система Кластер ТМ 200. Система предназначена
для высокопроизводительного автоматизированного перемещения пластин диаметром 150 и
200 мм между процессными модулями для загрузки/выгрузки пластин из кассет или СМИФ-
контейнеров. Система оснащается автоматическими роботизированными вакуумным
и атмосферным манипуляторами.

К вакуумно-транспортной системе могут пристыковываться любые из восьми технологических (процессных) модулей установок, такие как :
Магна ТМ 200-04К, Плазма ТМ 200-01К, Плазма ТМ 200-02К, Плазма ТМ 200-03К,
Плазма ТМ 200-04К, Изофаз ТМ 200-01К, Изофаз ТМ 200-02К, БТО ТМ 200-01К.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 кластер3