+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

ИЗОФАЗ ТМ 300

магна тм 300-1

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО
ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
С ICP ИСТОЧНИКОМ И ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ
ИЗ КАССЕТЫ В КАССЕТУ

ИЗОФАЗ ТМ 300

НАЗНАЧЕНИЕ:

Низкотемпературное осаждение диэлектрических
слоев оксида или нитрида кремния из газовой фазы
на подложках диаметром до 300 мм.

тм300-пластины

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

  • Обработка пластин в одном технологическом цикле:
    60х48 мм — 19 шт., Ø 76 мм — 13 шт., Ø 100 мм — 7 шт.,
    Ø 150 мм — 3 шт., Ø 200 мм — 1 шт., Ø 300 мм — 1 шт.;
  • Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек на носителе
    из кассеты в кассету;
  • Транспортная система переноса подложек на носителе из шлюзовой камеры в
    рабочую камеру на основе манипулятора;
  • Рабочие газы: SiH₄, N₂O, O₂, N₂, He и другие;
  • Скорость осаждения слоев SiO₂ не менее 0,5 нм/с;
  • Нагрев столика до 350°С;
  • Мощность потребления не более 21 кВт;
  • Безмасляная система откачки;
  • Возможность встраивания в чистую комнату.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5  Скачать PDF

 

изофазтм300-3