АО НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ
ИЗОФАЗ ТМ 200-01
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО
ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
С ICP ИСТОЧНИКОМ
ИЗОФАЗ ТМ 200-01
НАЗНАЧЕНИЕ:
Атомно-слоевое осаждение сверхтонких пленок.
ОСОБЕННОСТИ
СХЕМА УСТАНОВКИ
Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
Осаждение в термическом режиме и в режиме с удаленным источником ICP плазмы;
Порты для подключения ампул с прекурсором: с высоким давлением
насыщенных паров – 2 шт; с низким давлением насыщенных паров – 2 шт.
(опционально до 4 шт.);