ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР ОАО НИИТМ
ДОКТОР ТЕХНИЧЕСКИХ НАУК, ПРОФЕССОР
E-MAIL: VODINOKOV@NIITM.RU
ТЕЛ. +7-495-229-7501
ОБРАЗОВАНИЕ
Московское ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени Высшее техническое училище им. Баумана
УЧЕНЫЕ СТЕПЕНИ И ЗВАНИЯ
Кандидат технических наук, Высшая аттестационная комиссия при Совете Министров СССР 1981 г.
Доктор технических наук, Решение Высшего аттестационного Комитета Российской Федерации 1995 г.
Профессор по кафедре автоматизированных комплексов микроэлектроники при МИЭТ, Решение Министерства образования Российской Федерации 2000г.
ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР ОАО НИИТМ
ДОКТОР ТЕХНИЧЕСКИХ НАУК, ПРОФЕССОР
E-MAIL: VODINOKOV@NIITM.RU
ТЕЛ. +7-495-229-7501
ОБРАЗОВАНИЕ
Московское ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени Высшее техническое училище им. Баумана
УЧЕНЫЕ СТЕПЕНИ И ЗВАНИЯ
Кандидат технических наук, Высшая аттестационная комиссия при Совете Министров СССР 1981 г.
Доктор технических наук, Решение Высшего аттестационного Комитета Российской Федерации 1995 г.
Профессор по кафедре автоматизированных комплексов микроэлектроники при МИЭТ, Решение Министерства образования Российской Федерации 2000г.
ТЕКУЩАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ
В России и за рубежом В.В. Одиноков известен как ведущий специалист в области разработки специального вакуумного плазменного оборудования для микроэлектроники и СВЧ приборов. Сегодня под его руководством на предприятии проводятся работы по созданию нового наукоемкого технологического оборудования для серийного производства, отработки новых технологических процессов, научных исследований и подготовки инженеров и технологов в технических вузах и университетах. На предприятии разрабатывается и производится промышленное оборудование для процессов нанесения тонкопленочных структур в плазме магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения; плазмохимического травления структур в плазме ВЧ разряда; осаждения покрытий из газовой фазы и получения эпитаксиальных структур; физико-термических процессов отжига, диффузии и окисления; получения особо чистых газов методом ректификации и т.д.
РЕЗУЛЬТАТЫ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ
Общее количество научных публикаций – свыше 110
Количество выданных авторских свидетельств на изобретения – 45
Количество патентов — 5
