УСТАНОВКА БЫСТРОГО ТЕРМИЧЕСКОГО ОТЖИГА

БТО ТМ 200

        НАЗНАЧЕНИЕ

          Отжиг ионно-легированных слоев; формирование омических контактов; получение силицидов металлов, тонких окисных и диэлектрических пленок; рекристаллизация аморфных и поликристаллических пленок и др.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
• Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
• Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
• Многозонный ИК−нагрев пластин до температуры 1200°С;
• Максимальная скорость нагрева, не менее 100°С/с;
• Скорость охлаждения от +1200°С до +700°С, не менее 35°С/с;
• Скорость охлаждения от +700°С до +200°С, не менее 35°С/мин;
• Узел вращения пластины для повышения равномерности нагрева;
• Рабочая камера охлаждается до +16°С…+25°С;
• Безмасляная откачка в случае использования вакуума;
• Может входить в кластерный комплекс.

  скачать pdf