УСТАНОВКА БЫСТРОГО ТЕРМИЧЕСКОГО ОТЖИГА
СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ ИЗ КАССЕТЫ В КАССЕТУ

БТО ТМ 200

        НАЗНАЧЕНИЕ

          Отжиг ионно-легированных слоев; формирование омических контактов; получение силицидов металлов, тонких окисных и диэлектрических пленок; рекристаллизация аморфных и поликристаллических пленок и др.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

• Индивидуальная обработка подложек на подложкодержателе в одном технологическом цикле: Ø 76, 100, 150, 200мм – 1 шт.;
• Транспортная система переноса пластин из шлюзовой камеры в реактор на основе манипулятора;
• Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки пластин в кассете;
• Многозонный ИК−нагрев пластин до температуры 1200°С;
• Максимальная скорость нагрева, не менее 100°С/с;
• Скорость охлаждения от +1200°С до +700°С, не менее 35°С/с;
• Скорость охлаждения от +700°С до +200°С, не менее 35°С/мин;
• Узел вращения пластины для повышения равномерности нагрева;
• Рабочая камера охлаждается до +16°С…+25°С;
• Безмасляная откачка в случае использования вакуума;
• Может входить в кластерный комплекс.

  скачать pdf