+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    ENG

БТО ТМ 200

УСТАНОВКА БЫСТРОГО ТЕРМИЧЕСКОГО ОТЖИГА

БТО ТМ 200

        НАЗНАЧЕНИЕ

          Отжиг ионно-легированных слоев; формирование омических контактов; получение силицидов металлов, тонких окисных и диэлектрических пленок; рекристаллизация аморфных и поликристаллических пленок и др.

ОСОБЕННОСТИ

СХЕМА УСТАНОВКИ

  • Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
  • Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
  • Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
  • Многозонный ИК−нагрев пластин до температуры 1200°С;
  • Максимальная скорость нагрева, не менее 100°С/с;
  • Скорость охлаждения от +1200°С до +700°С, не менее 35°С/с;
  • Скорость охлаждения от +700°С до +200°С, не менее 35°С/мин;
  • Узел вращения пластины для повышения равномерности нагрева;
  • Рабочая камера охлаждается до +16°С…+25°С;
  • Безмасляная откачка в случае использования вакуума;
  • Может входить в кластерный комплекс.

  9c58e38e9870c3807495c61427c56ed5скачать pdf

bto_200_3