![]() |
УСТАНОВКА БЫСТРОГО ТЕРМИЧЕСКОГО ОТЖИГА
|
|
НАЗНАЧЕНИЕОтжиг ионно-легированных слоев; формирование омических контактов; получение силицидов металлов, тонких окисных и диэлектрических пленок; рекристаллизация аморфных и поликристаллических пленок и др. |
||
ОСОБЕННОСТИ |
СХЕМА УСТАНОВКИ |
|
|
![]() |